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纳米级高纯硅溶胶用于磷化铟抛光液
  • 品牌:广东惠和
  • 产地:广东
  • 型号:250kg
  • 纯度:30-50
  • cas:14808-60-7
  • 价格: ¥9/千克
  • 发布日期: 2025-04-23
  • 更新日期: 2025-05-07
产品详请
品牌 广东惠和
货号
EINECS编号
型号
外观 乳白色
CAS编号 14808-60-7
别名 二氧化硅水溶液
英文名称
包装规格 250kg
纯度 30-50%
分子式 mSiO2·nH2O
执行质量标准 企标
厂家(产地) 广东
硅溶胶在磷化铟中主要应用于化学机械抛光(CMP)过程,具体如下:

- 适用于中间抛光和精抛:硅溶胶中二氧化硅的莫氏硬度为7,对磷化铟的去除作用较为温和,在CMP过程中不会对磷化铟表面造成过多损伤,适合在磷化铟的中间抛光和精抛阶段使用,有助于获得极低的表面粗糙度和较少的表面缺陷。

- 化学兼容性好:硅溶胶不易与磷化铟及抛光液中的其他化学成分发生剧烈反应,减少了表面损伤,有助于保持抛光液的稳定性和磨料的切削性能。

- 确保均匀抛光:硅溶胶磨料在抛光液中具有良好的分散性和稳定性,能均匀地分布在磷化铟表面,实现均匀的去除效果,避免局部过度抛光或欠缺抛光的情况。