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纳米级高纯硅溶胶用于磷化铟抛光液
- 品牌:广东惠和
- 产地:广东
- 型号:250kg
- 纯度:30-50
- cas:14808-60-7
- 价格: ¥9/千克
- 发布日期: 2025-04-23
- 更新日期: 2025-05-07
产品详请
品牌 | 广东惠和 |
货号 | |
EINECS编号 | |
型号 | |
外观 | 乳白色 |
CAS编号 | 14808-60-7 |
别名 | 二氧化硅水溶液 |
英文名称 | |
包装规格 | 250kg |
纯度 | 30-50% |
分子式 | mSiO2·nH2O |
执行质量标准 | 企标 |
厂家(产地) | 广东 |
硅溶胶在磷化铟中主要应用于化学机械抛光(CMP)过程,具体如下:
- 适用于中间抛光和精抛:硅溶胶中二氧化硅的莫氏硬度为7,对磷化铟的去除作用较为温和,在CMP过程中不会对磷化铟表面造成过多损伤,适合在磷化铟的中间抛光和精抛阶段使用,有助于获得极低的表面粗糙度和较少的表面缺陷。
- 化学兼容性好:硅溶胶不易与磷化铟及抛光液中的其他化学成分发生剧烈反应,减少了表面损伤,有助于保持抛光液的稳定性和磨料的切削性能。
- 确保均匀抛光:硅溶胶磨料在抛光液中具有良好的分散性和稳定性,能均匀地分布在磷化铟表面,实现均匀的去除效果,避免局部过度抛光或欠缺抛光的情况。
- 适用于中间抛光和精抛:硅溶胶中二氧化硅的莫氏硬度为7,对磷化铟的去除作用较为温和,在CMP过程中不会对磷化铟表面造成过多损伤,适合在磷化铟的中间抛光和精抛阶段使用,有助于获得极低的表面粗糙度和较少的表面缺陷。
- 化学兼容性好:硅溶胶不易与磷化铟及抛光液中的其他化学成分发生剧烈反应,减少了表面损伤,有助于保持抛光液的稳定性和磨料的切削性能。
- 确保均匀抛光:硅溶胶磨料在抛光液中具有良好的分散性和稳定性,能均匀地分布在磷化铟表面,实现均匀的去除效果,避免局部过度抛光或欠缺抛光的情况。